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硅基石墨烯纳米墙的制备及其湿度传感器的应用
硅基石墨烯纳米墙的制备及其湿度传感器的应用
作者:
向鹏程
张楠
李久荣
王刚
胡绪瑞
陈达
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
石墨烯纳米墙
等离子体增强气相沉积(PECVD)
湿度传感器
摘要:
本研究介绍了在较低的温度条件下,利用等离子体增强化学气相沉积法成功实现在单晶硅衬底上生长高质量石墨烯纳米墙.系统地研究了生长温度、生长时间及射频功率等对硅基石墨烯纳米墙微观结构的影响.利用包括拉曼光谱在内的多项技术表征石墨烯纳米墙的质量及尺寸大小.研究发现随着温度升高、生长时间延长和射频功率增大,石墨烯纳米墙的密度和尺寸也随之增大.通过优化工艺条件,成功制备出高密度、大尺寸、均一的硅基石墨烯纳米墙材料.并且,高质量的石墨烯纳米墙超大比表面积及大量晶界堆叠形成的缺陷大幅提升了湿度传感器的性能.
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石墨烯及其纳米复合材料的制备与应用研究
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文献信息
篇名
硅基石墨烯纳米墙的制备及其湿度传感器的应用
来源期刊
材料科学与工程学报
学科
化学
关键词
石墨烯纳米墙
等离子体增强气相沉积(PECVD)
湿度传感器
年,卷(期)
2020,(1)
所属期刊栏目
研究论文
研究方向
页码范围
59-63
页数
5页
分类号
O613.71|TP212
字数
2802字
语种
中文
DOI
10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2020.01.012
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
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1
王刚
宁波大学理学院微电子科学与工程系
18
34
3.0
4.0
2
张楠
宁波大学理学院微电子科学与工程系
5
8
1.0
2.0
3
李久荣
宁波大学理学院微电子科学与工程系
3
3
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4
向鹏程
宁波大学理学院微电子科学与工程系
1
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胡绪瑞
宁波大学理学院微电子科学与工程系
2
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陈达
宁波大学理学院微电子科学与工程系
4
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研究主题发展历程
节点文献
石墨烯纳米墙
等离子体增强气相沉积(PECVD)
湿度传感器
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
材料科学与工程学报
主办单位:
浙江大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1673-2812
CN:
33-1307/T
开本:
大16开
出版地:
浙江杭州浙大路38号浙江大学材料系
邮发代号:
创刊时间:
1983
语种:
chi
出版文献量(篇)
4378
总下载数(次)
9
总被引数(次)
42484
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