平晶等厚干涉条纹一体化检测方法研究

• 作者: 张国亮 赵楠 闫雪锋
• 来源期刊: 机械设计与制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 曲线拟合 等厚干涉条纹 图像处理 一体化检测
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 测试与试验研究
• 页码范围: 75-80
• 页数: 6页
• 分类号: TP391.9
• 字数: 4966字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-509X.2020.01.017

摘要

为了测量平晶表面误差,提高检测效率和精度,定义了平晶等厚干涉条纹信息提取、分析以及计算的一体化求解机制,提出了基于最小二乘法的条纹边缘拟合方法.以某型号等厚干涉仪对条纹一体化检测为例,说明了该方法搭建条纹一体化检测平台求解条纹误差的正确性、有效性与实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵楠	天津职业技术师范大学机械工程学院	15	36	4.0	5.0
2	闫雪锋	天津职业技术师范大学机械工程学院	4	5	1.0	2.0
3	张国亮	天津职业技术师范大学机械工程学院	4	2	1.0	1.0