基于大面积TFT和PVDF薄膜的表面形貌无损探测技术

• 作者: 刘帅 向勇 尚飞 张千 胡潇然
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 聚偏氟乙烯 传感器 表面形貌探测 薄膜晶体管
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 电子信息材料与器件
• 页码范围: 287-290
• 页数: 4页
• 分类号: TB34
• 字数: 2296字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12178/1001-0548.2019220

摘要

针对物体表面形貌无损探测,提出了一种基于大面积薄膜晶体管(TFT)和聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的表面形貌探测方法,具有大面积、可覆形、便携化和高精度的特点.该方法利用电容传感器原理,将已广泛应用于半导体显示领域的TFT阵列与传感器相结合,可精确定位物体表面微米级缺陷,测量分辨率达到50μm,实现了对物体表面形貌的精准无损探测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘帅	电子科技大学材料与能源学院	4	5	1.0	2.0
2	向勇	电子科技大学材料与能源学院	22	100	6.0	9.0
3	张千	电子科技大学材料与能源学院	7	24	4.0	4.0
4	尚飞	电子科技大学材料与能源学院	2	0	0.0	0.0
5	胡潇然	电子科技大学材料与能源学院	2	0	0.0	0.0