低电压驱动F-P腔可调谐滤波器的仿真和设计

• 作者: 任浩杰 侯海港 朱丽慧 黄清伟
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: F-P腔 可调谐滤波器 静电驱动 桥面形状 仿真
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 182-186,216
• 页数: 6页
• 分类号: TN713
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2020.02.007

摘要

利用COMOSL多物理场有限元软件,对无孔、圆形孔、正方形孔、菱形孔四种新型折叠梁形桥面结构Fabry-Perot (F-P)腔可调谐滤波器进行了电压-位移、应力和镜面平整度仿真,以优选最佳的桥面结构.结果 显示,在相同驱动电压下,菱形孔桥面的位移最大.同时,桥面达到相同位移时,菱形孔桥面所需的驱动电压最小,并且菱形孔桥面的应力和平整度也能满足滤波器的设计要求.利用Essential Macleod软件对优选出的菱形孔桥面结构滤波器进行了滤波性能分析,结果表明,滤波器在3～5 μm的光谱调谐范围内,具有良好的滤波效果,可以满足低电压驱动和宽调谐范围的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱丽慧	上海大学材料科学与工程学院	92	879	18.0	25.0
2	任浩杰	上海大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
3	侯海港	江苏大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0
4	黄清伟	江苏大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0