深紫外光栅反常偏振器件的设计与分析

• 作者: Sergey Avakaw 刘铁诚 周如意 张冲 曾爱军 胡敬佩 黄惠杰
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光光学 深紫外波段 共振域光栅 反常偏振效应 光栅偏振器件 偏振性能
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 激光器件与激光物理
• 页码范围: 41-47
• 页数: 7页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.0301005

摘要

为实现金属光栅偏振器件在光刻机偏振照明系统中的应用,基于共振域光栅的反常偏振效应,提出一种以二氧化硅为基底、铝与氟化镁作为栅线材料的介质-金属光栅偏振器.与传统的亚波长金属光栅偏振器相比,该偏振器的光栅周期接近入射波长(0.19～0.20 μm),表现出透射TE偏振光、反射TM偏振光的反常特性.由时域有限差分算法(FDTD)的数值模拟结果可得,当波长为0.193 μm的光垂直入射时,该光栅偏振器对TE偏振光的透过率大于60％,偏振消光比大于180.与具有相同结构参数和栅线材料的单层金属光栅偏振器相比,该介质-金属光栅偏振器在深紫外波段具有良好的偏振性能,TE偏振光透过率提升了约10％,偏振消光比提升了4.5倍左右(在0.193 μm波长下).