K-B镜面形高精度检测技术研究进展

• 作者: 侯溪 张帅
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: X射线光学 K-B镜 光学测量 面形检测 拼接干涉
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 660-675
• 页数: 16页
• 分类号: TN247
• 字数: 10125字
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/CO.2019-0231

摘要

以新一代同步辐射光源和全相干X射线自由电子激光为代表的先进光源已成为众多学科领域中一种不可或缺的研究工具.先进光源技术不断进步,驱动超精密光学制造快速发展,先进光源中关键聚焦光学元件K-B镜的面形精度是影响光源性能的重要指标,要求其在几十纳弧度以下.然而,高精度K-B镜面形检测技术依然存在较大技术挑战,一直是国内外研究热点.本文介绍了反射式轮廓测量技术即长程轮廓仪(LTP)、纳米测量仪(NOM)以及拼接干涉检测技术等典型K-B镜面形检测技术的基本原理,对比分析了其技术特点,综述了国内外K-B镜面形检测技术的研究现状和最新进展,对发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯溪	中国科学院光电技术研究所	28	403	12.0	19.0
2	张帅	中国科学院光电技术研究所	58	363	8.0	18.0