创新常在与佳能共生

• 作者: 王翠
• 来源期刊: 现代制造
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 直击现场
• 页码范围: 15
• 页数: 1页
• 语种: 中文

摘要

目前,半导体器件被广泛应用于智能手机、汽车等各个领域,在其制造过程中半导体光刻机必不可少.1970年,佳能发售了日本首台半导体光刻机P P C-1,正式进入半导体光刻机领域.随着数字化的发展,佳能不断地升级其半导体光刻机,并根据半导体制造业对设备进化的要求逐步推出其他类型的设备.