外部振动对电子显微镜的影响及处理

• 作者: 胡孝昀
• 来源期刊: 电子测试
• 关键词: 低频振动 电子显微镜 被动式减震器 主动式减震器 减震沟
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 测试工具与解决方案
• 页码范围: 88-90
• 页数: 3页
• 字数: 2002字
• 语种: 中文

摘要

20Hz以下的低频振动对电子显微镜的检测功能有很大干扰,需要采取各种减震手段降低低频振动的干扰.目前常用的减震方法中,如橡胶减震器、混凝土减震台、空气弹簧等等在20Hz以下的低频段效果很差,而采用主动减震装置可以有效抑制1Hz以上的振动,适合对低频段减震要求较高的场合.此外在某些特定条件下,减震沟对于低频振动的干扰也有较好的抑制效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡孝昀	南京航空航天大学机电学院	15	110	6.0	10.0