氮化硅滚子化学机械复合抛光工艺参数与表面粗糙度的关系

• 作者: 谭晓媛
• 来源期刊: 中国陶瓷工业
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化硅陶瓷滚子 化学机械 复合抛光 粗糙度
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174.75
• 语种: 中文
• DOI: 10.13958/j.cnki.ztcg.2020.05.004

摘要

为优化氮化硅陶瓷滚子化学机械复合抛光技术工艺参数,得到高性能氮化硅陶瓷滚子.通过改变抛光机主轴转速及磁流变抛光液温度,探究各参数对氮化硅陶瓷滚子表面粗糙的影响,并获得各参数对表面粗糙度的影响曲线.总结对应影响规律,结果表明:随着主轴转速的增大,氮化硅陶瓷滚子表面粗糙度逐渐减小,且变化率逐渐减小;当其他条件不变时,磁流变抛光液温度对氮化硅陶瓷滚子表面粗糙度影响不大,保持在0.035μm左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭晓媛		1	0	0.0	0.0