超高真空计研制及其计量特性研究

• 作者: 孙健 张虎忠 成永军 李刚 李得天
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超高真空 真空测量 电离真空计 灵敏度 真空校准
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 整管研制
• 页码范围: 63-68
• 页数: 6页
• 分类号: TN107
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.04.12

摘要

超高真空计广泛应用于超高真空环境下的精确压力测量,也是目前唯一实际可用的超高真空测量仪器.本文基于Bayard-Alpert原理研制了一种超高真空计,开展了电子运动轨迹的模拟仿真计算和实验研究,分析了发射电流对规管灵敏度值的影响.结果 表明,测量范围为10-9～10-2Pa量级时,灵敏度平均值为0.145 Pa-1,波动为±1 5％,10-8～10-2Pa范围内,灵敏度平均值为0.148 Pa-1,波动为±6％,实验测试结果与理论计算结果具有良好一致性.超高真空计的控制系统中的名义灵敏度设置为0.15 Pa-1,对其测量结果开展精确校准,校准范围为2.190×10-9～1.128×10-2Pa,校准结果的修正因子为1.02,扩展不确定为15％(k=2).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙健		2	36	1.0	2.0
2	李得天		6	0	0.0	0.0
3	李刚		3	5	2.0	2.0
4	成永军		4	21	1.0	4.0
5	张虎忠		1	0	0.0	0.0