微小尺寸器件的CO2雪清洗

• 作者: 卡琳·尼尔纳 安德鲁·迪策尔布 斯蒂芬·詹特伦 汤玛斯·迪卡罗 马丁·史坦那
• 来源期刊: 中国洗涤用品工业
• 学科: 工学
• 关键词: CO2雪清洗 精密器件 尺寸测量法 超声波清洗 高速空气喷射
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 技术圆桌
• 页码范围: 57-67
• 页数: 11页
• 分类号: TQ423.99
• 字数: 7921字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-2701.2020.01.012

摘要

在许多应用中,亚毫米微小器件的表面清洗依然是一个巨大的挑战.这种挑战可能是颗粒在微观尺度上的强黏附、样品的难以处理、黏附颗粒的小尺寸和不利的几何形状等中的一种或多种.尽管如此,在器件加工、组装、包装、应用和测量之前通常是需要深度清洗的.以前对CO2雪清洗的评估几乎完全是指清洗光滑度,凹陷或凸起的表面, 通常检查的器件是晶片和光学元件. 在本文中,我们研究了微型齿轮上复杂表面形状的CO2雪清洗. 将CO2雪清洗的效果与超声波清洗和高速空气喷射清洗进行了比较.通过对清洗前后四个研究样品的光学显微镜图像的分析,评估了72次清洗实验.结果表明,CO2雪清洗方法可以清楚测试样品中超过95%的微米级污染物.相比较而言,超声波清洗只能除去88%的颗粒,高速空气喷射也仅能除去74%的颗粒.