基于FPGA激光清洗系统的设计与实现

• 作者: 戴金跃 汤发全
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光光学 激光清洗 逐行烧蚀 螺旋式扫描 网状分布
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 激光制造
• 页码范围: 91-96
• 页数: 6页
• 分类号: TP273
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.0402005

摘要

为实现激光在二维平面内高效、均匀烧蚀污渍、清洗靶材,更改激光逐行烧蚀扫描模式,设计了一种激光螺旋式填充路径,控制振镜电机偏转激光使其在平面内的烧蚀呈网状分布.结果 表明:对于清洗区域内的任一点,相比于逐行烧蚀,螺旋烧蚀过程中该点区域获得冷却时间,激光热积累效应变弱.逐行扫描速度为单个振镜电机速度,螺旋扫描速度为两电机速度的矢量和.因此,相比于逐行扫描方式,激光螺旋式清洗的效果更加均匀,效率更高.