铝合金表面有机污染物等离子体清洗机理及验证

• 作者: 李玉海 白清顺 杨德伦 张鹏 卢礼华 张飞虎 袁晓东
• 来源期刊: 中国表面工程
• 关键词: 有机污染物 等离子体 清洗 铝合金 超洁净制造
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究|Surface Engineering Research
• 页码范围: 58-67
• 页数: 10页
• 分类号: TG174.442
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20200713002

摘要

针对惯性约束核聚变装置中铝合金零件表面的有机污染去除问题,提出大气常压等离子清洗方式.通过有限元方法研究等离子清洗机理,并通过铝合金零件的清洗试验进行验证,从而实现聚变装置中机械零件的超洁净制造.研究结果表明:通过建立等离子表面清洗的热力学耦合方程,仿真分析得到清洗应力随清洗距离的减小而增大,随清洗速度和基体厚度的增大而减小.通过试验验证了铝合金零件在等离子清洗后表面自由能增大,极性分量与色散分量都有所增加,并且在等离子清洗过程中清洗的距离比清洗速度对清洗效果影响更大,清洗距离为5 mm时最好.