靶丸壳层折射率的白光干涉测量技术研究

• 作者: 何智兵 易勇 樊婷 王宗伟 王琦 马小军
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 折射率 白光垂直扫描干涉 白光反射光谱 靶丸
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 基础光学
• 页码范围: 641-649
• 页数: 9页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2020.06.002

摘要

为了精密检测靶丸壳层折射率参数,基于白光垂直扫描干涉和白光反射光谱的基本原理,建立了二者联用的靶丸壳层折射率测量方法.数据处理利用曲线拟合测定极值点波长、并由干涉级次连续性判定干涉级次,解决了白光反射光谱波峰位置难以精确确定和单极值点判读可能存在干涉级次误差等难题.对玻璃靶丸折射率进行了测量、实验验证和不确定度分析,研究结果表明,白光干涉技术能够实现靶丸壳层折射率的精确测量,其测量不确定度约为0.86％.