一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法研究

• 作者: 乐燕芬 刘芳芳 唐一揆 金涛 雷李华
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 差分平面镜干涉仪 Heydemann修正 非线性误差
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 页码范围: 676-681
• 页数: 6页
• 分类号: TB921
• 字数: 4052字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2020.06.08

摘要

针对单频激光干涉仪在位移测量中存在的非线性误差问题,研究了一种基于几何距离最小化的Heydemann修正算法,使用Jamin干涉仪和纳米位移台搭建了验证性实验.Jamin干涉仪是一种基于平面镜的差分结构单频干涉仪,当被测物体移动时,干涉仪输出两路相位差为90°的正交信号,这两路信号既用于Jamin干涉仪解算位移也用于验证论文的修正算法.实验结果表明,修正后的位移的拟合优度与Jamin干涉仪解算结果接近,决定系数约为1.相比Jamin干涉仪,在压电陶瓷同等驱动条件下,修正位移与电容传感器的位移的残差均较小,修正精度均高于Jamin干涉仪解算结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘芳芳		15	31	3.0	5.0
2	金涛	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	23	130	6.0	11.0
3	乐燕芬	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	44	150	7.0	10.0
4	唐一揆	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	1	0	0.0	0.0
5	雷李华		15	48	4.0	6.0