切割用直拉硅芯原料棒工艺特点探讨

• 作者: 周燕青 杨旭彪 罗晓斌 董皓 辛玉龙
• 来源期刊: 山西化工
• 学科: 工学
• 关键词: 硅芯棒 切割硅芯 方硅芯 融接工艺
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 专题讨论
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 3059字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16525/j.cnki.cn14-1109/tq.2020.02.14

摘要

用于切割生产硅芯的原料硅棒,一般采用CZ法生产.采用CZ法生产过程中,由于设备故障、人员操作等因素经常会产生局部不良导致提断处理,提断会导致整棒报废,损失较大,成本增加明显.结合生产实际,实验出一种融接工艺,可以使提断后硅棒继续生长,同时融接面没有隐裂、气泡等不良.经检验该工艺满足生产要求,基本可以避免提断损失.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗晓斌		6	9	1.0	3.0
2	周燕青		2	0	0.0	0.0
3	杨旭彪		2	0	0.0	0.0
4	辛玉龙		7	2	1.0	1.0
5	董皓		5	0	0.0	0.0