碳化硅陶瓷基复合材料激光刻蚀技术研究进展

• 作者: 崔健磊 梅雪松 王文君 翟兆阳
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光光学 激光加工 碳化硅陶瓷基复合材料 作用机理 热致缺陷 超短脉冲激光
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 16-26
• 页数: 11页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.0600002

摘要

碳化硅陶瓷基复合材料(CMC-SiC)具有密度低、强度高、耐高温、抗腐蚀等优点,在航空航天领域具有广泛的应用潜力.但是CMC-SiC属于具有超高硬度且各向异性的难加工材料,常规加工技术难以胜任这种新型材料的优质高效加工.激光加工凭借加工质量高、非接触加工、输入热量低、适用范围广、易于和数控技术结合实现自动化等优势,有望成为CMC-SiC材质构件精密制造的主流技术.本文从CMC-SiC与激光的相互作用机理出发,分析了激光加工CMC-SiC中出现的典型热致缺陷,阐述了超短脉冲激光在CMC-SiC精密加工中展现的优势.在此基础上,指出了CMC-SiC激光加工技术的发展趋势,旨在为新型航空航天CMC-SiC材质构件的精密制造提供理论依据与技术参考.