差动结构的平面二维时栅位移传感器

• 作者: 李路建 杨继森 牟智铭 田青青 邵争光
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 时栅位移传感器 差动结构 平面线圈 二维位移 直接解耦测量
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 机械基础工程
• 页码范围: 1444-1451,1460
• 页数: 9页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2020.12.008

摘要

为了解决采用两套高精度一维传感、装置测量二维位移时存在的测量系统复杂、检测同步性难保证和解耦运算复杂等问题,提出了一种基于差动结构的二维感应信号直接解耦方法,用于研究一种平面线圈型二维时栅位移传感器.立足于传统电磁式时栅技术,构建了二维位移直接解耦测量模型,并设计了传感器的基本结构.利用ANSYS Maxwell建立了传感器三维结构模型并进行了电磁仿真,并对仿真结果进行误差分析和溯源.基于此研制了传感器样机并进行了实验.实验结果表明:样机在79.2 mm×79.2 mm测量范围内,X方向误差为91μm,Y方向误差为74μm,可实现二维位移同步检测和直接解耦测量,且测量系统结构简单、体积小,对研究更高性能的二维时栅具有重要参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨继森	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	46	256	11.0	13.0
2	田青青	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	3	0	0.0	0.0
3	李路建	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	5	0	0.0	0.0
4	邵争光	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	5	0	0.0	0.0
5	牟智铭	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	4	0	0.0	0.0