基于面板工艺的数字微流控芯片

• 作者: 席克瑞 彭旭辉 林柏全 秦锋 贾振宇
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 数字微流控 电极设计 面板制造 液滴驱动
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 159-166
• 页数: 8页
• 分类号: TN492|TH79
• 语种: 中文
• DOI: 10.19650/j.cnki.cjsi.J1905890

摘要

针对传统数字微流控芯片电极数量少和制造成本高的问题,对基于面板工艺的数字微流控芯片进行了设计、制备和验证.引入现有成熟的液晶面板设计与制造技术,在玻璃基板上完成金属、绝缘层、有机膜、ITO等膜层的图形化加工.结合常规半导体旋涂工艺,完成疏水层的制备.实验成功地制备出一种集成有480个电极的单基板数字微流控芯片样品.通过合理的驱动电极排布与驱动信号时序设计,实现了低成本化的微流控芯片的设计与制造.对于所设计的微流控芯片进行了功能验证,实现了液滴的连续移动,最低驱动电压可达到25 V,可驱动液滴的体积范围为8～50 μ.L.还通过系统化的实验对芯片的有效工作条件进行了验证.