工艺参数选择对石英玻璃刻蚀性能的研究

• 作者: 张文琼 方亮
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 石英玻璃 等离子体 刻蚀 气压
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 玻璃
• 页码范围: 1949-1953
• 页数: 5页
• 分类号: TQ170.6
• 字数: 2183字
• 语种: 中文

摘要

采用ICP601型刻蚀机,对石英玻璃进行刻蚀,结果表明,随着气压增大,刻蚀速率增大,0.5 Pa时,刻蚀速率达到峰值50 nm/min,而后随着气压的增大,刻蚀速率降低.0.5 Pa气压下的石英玻璃微槽底部平直,“长草现象”逐步消失.随着功率的增大,刻蚀速率变快.通过不同玻璃材料的刻蚀,可以看出,在采用SF6刻蚀剂的情况下,K9玻璃的刻蚀速率大于石英玻璃的刻蚀速率,GG17耐高温玻璃的刻蚀速率小于石英玻璃的刻蚀速率.本研究可为玻璃微器件制备提供工艺参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文琼	厦门大学嘉庚学院	11	11	2.0	2.0
2	方亮	厦门大学嘉庚学院	2	0	0.0	0.0