准分子激光器中放电冲击波的仿真研究

• 作者: 丁金滨 刘斌 周翊 江锐 王宇
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 准分子激光器 放电冲击波 数值仿真 放电腔设计
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 激光器件与激光物理
• 页码范围: 16-25
• 页数: 10页
• 分类号: TN248.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.0901001

摘要

分析了准分子激光器放电腔内放电冲击波能量来源的计算方法,利用Fluent软件对放电冲击波物理过程进行了二维仿真,揭示了300 μs内横向冲击波和纵向冲击波的演化过程,获得了此过程中气体速度、密度、压力和温度等关键参数的变化规律.对仿真结果进行分析,得出了高重复频率放电腔设计中应注意的关键位置以及处理方法,提出了选取放电腔尺寸和边界等参数时的参考依据.