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基于误差注意力的晶圆制造数据异常检测
基于误差注意力的晶圆制造数据异常检测
作者:
余石龙
张启华
李婕
鲍劲松
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
注意力机制
异常检测
晶圆制造
特征提取
卷积神经网络
摘要:
针对晶圆制造数据异常检测过程中异常特征提取难度大且检测效率不高的问题,提出了一种基于误差注意力的晶圆制造数据异常检测方法.在保持数据分布不变的前提下,将晶圆制造数据转化成灰度图像,根据与正常样本的误差对灰度图像生成基于位置的柔性注意力图,增加误差特征的显性表达并略去冗余特征;利用深度学习神经网络LeNet-5模型将注意力图进行卷积训练,得到异常检测的最优化模型.采用晶圆制造数据集与现有方法进行对比,所提方法耗时缩短160%、F2-Score提高3%,证明了所提方法的有效性.
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计算机视觉
目标检测
注意力掩模
特征金字塔
多尺度检测
面向运动目标检测的粒子滤波视觉注意力模型
注意力模型
运动目标检测
粒子滤波
融合
内容分析
文献信息
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相关学者/机构
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期刊文献
内容分析
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关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
基于误差注意力的晶圆制造数据异常检测
来源期刊
中国机械工程
学科
工学
关键词
注意力机制
异常检测
晶圆制造
特征提取
卷积神经网络
年,卷(期)
2020,(14)
所属期刊栏目
服务型制造
研究方向
页码范围
1686-1692
页数
7页
分类号
TP183
字数
4779字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1004-132X.2020.14.007
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
张启华
8
17
2.0
4.0
2
鲍劲松
东华大学机械工程学院
23
89
6.0
8.0
3
余石龙
东华大学机械工程学院
1
0
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4
李婕
东华大学机械工程学院
5
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研究主题发展历程
节点文献
注意力机制
异常检测
晶圆制造
特征提取
卷积神经网络
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国机械工程
主办单位:
中国机械工程学会
出版周期:
半月刊
ISSN:
1004-132X
CN:
42-1294/TH
开本:
大16开
出版地:
湖北省武汉市湖北工业大学772信箱
邮发代号:
38-10
创刊时间:
1973
语种:
chi
出版文献量(篇)
13171
总下载数(次)
15
总被引数(次)
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