大公差宽容度矩形孔准周期阵列实现对高阶衍射的有效抑制

• 作者: 张众 张强强 曹磊峰 王占山 王少义 范全平 陈勇 魏来
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 单级衍射光栅 X射线 光谱仪 加工误差宽容度
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 惯性约束聚变物理与技术
• 页码范围: 60-65
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1|O434.13
• 字数: 1874字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB202032.200117

摘要

传统光栅的基础研究和应用研究进展一直备受关注.然而,高阶衍射污染使传统光栅获得的光谱纯度受到严重影响.为了抑制高阶衍射贡献,人们提出了许多单级或准单级光栅的设计方案,但它们对高阶衍射的抑制效果不可避免地受到加工精度的限制.提出了一种准周期矩形孔阵列光栅,通过优化矩形孔的概率密度分布函数,获得了比以往设计更大的加工误差宽容度.对这种光栅的衍射特性进行了分析研究.理论计算表明,即使孔径相对误差超过20％,光栅也可以完全抑制二阶、三阶和四阶衍射,五阶衍射效率与一阶衍射效率之比小于0.01％,大大降低了对加工精度的要求.