球面栅网几何要素的精密测量

• 作者: 刘柳萍 李飞 王建
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 球面栅网 几何要素 精密测量 电子光学
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1939-1949
• 页数: 11页
• 分类号: TN124
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/OPE.20202809.1939

摘要

为了实现球面栅网零件几何要素的精密测量,快速筛选出满足电子光学设计要求的合格零件.对测量设备与附件的特点、零件的设计要求、加工工艺带来的常见超差问题进行研究.根据零件的测量要素,从测量效率和精度的角度考虑,选择了加装激光辅助对焦系统的影像测量仪.编写了自动测量程序,自动将粗定位定向转为精准定位定向,完成了零件全部几何要素的自动测量.针对“大半径、小圆弧”的测量难点,进行了量化分析和计算,得出了曲率半径测量结果不确定度的计算公式.最后,讨论了测量不确定度的来源,提出了抑制各误差源的方法.实际应用时,利用上述影像仪完成了栅网零件的曲率半径SR、栅网球面的面轮廓度、环向栅丝同心度、径向栅丝圆分度α、全部栅丝宽度WR和WC、端面外径及其圆度、端面平面度的自动精密测量.测量时间约为传统方式的2/3,测点数量达2 094个,远高于手动测量方式.