采用盐类化学试剂制备减反增透膜层的方法

• 作者: 姜宏 崔永红 潘国治 赵会峰 郝霞
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米结构 玻璃表面 减反增透 化学刻蚀 透过率 反射率
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 表面功能化
• 页码范围: 177-184
• 页数: 8页
• 分类号: TQ171
• 字数: 5456字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.05.021

摘要

目的 提高玻璃表面透过率,降低反射率.方法 利用Na2CO3、Na3PO4、Na4P2O7等碱性盐溶液对预处理后的玻璃表面进行化学刻蚀,通过对玻璃表面纳米多孔结构以及断面刻蚀膜层厚度的调控,实现入射光在传递过程中产生相消干涉,从而实现对光的减反增透效果.通过扫描电镜观察玻璃腐蚀前后的表面形貌和断面膜层厚度,用紫外可见分光光度计对刻蚀前后玻璃的透过率和反射率进行测试,进一步调节刻蚀液浓度、刻蚀时间和刻蚀温度,优化实验方案,提高透过率.结果 经碱性盐溶液刻蚀后,在24 h、92℃条件下,玻璃表面形成宽为20～30 nm,膜层厚度为100～150 nm,分布比较均匀的细微沟槽,玻璃的平均透过率达97.53％,比原始基片提高了7％,刻蚀前后成分基本无变化,光学性能得到了有效提高.固定刻蚀液浓度和刻蚀时间,样品透过率随刻蚀温度的升高,先增大后降低;固定刻蚀液浓度和刻蚀温度,样品透过率随刻蚀时间的增加,先增大后降低;固定刻蚀时间和刻蚀温度,样品透过率随刻蚀液浓度的增加,先增大后降低.结论 采用碱性盐类化学试剂对玻璃表面进行化学刻蚀,使玻璃表面的化学键断裂,在玻璃表面形成疏松膜层结构,当刻蚀层达到一定厚度时,一定波长的光在玻璃表面发生相消干涉,可有效提高玻璃表面的透过率,降低反射率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜宏		7	18	2.0	4.0