精密电动反射镜架的结构设计与动态特性分析

• 作者: 卢礼华 漆力子 金鸿宇 陈家轩 高强
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光光学 反射镜架 柔性并联驱动机构 有限元 模态分析 动态特性测试 随机振动分析
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 激光器件与激光物理
• 页码范围: 74-84
• 页数: 11页
• 分类号: TP23
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.0301010

摘要

设计了一种精密电动反射镜架的机械结构,通过微驱动装置的设计调试以及并联驱动机构的解耦运算,使设计的电动反射镜架达到±7.5 mrad的运动行程、0.3 μrad的单步分辨率.对反射镜架进行了有限元模态分析,得到了其固有频率及所对应的模态振型;在此基础上,对电动反射镜架的动态特性进行了实验测试,根据模态分析与动态特性测试的结果,对反射镜架进行了随机振动分析,验证了反射镜架在地脉振动影响下的稳定性指标优于0.5μrad.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈家轩		13	110	3.0	10.0
2	金鸿宇		6	17	3.0	4.0
3	卢礼华		20	179	8.0	13.0
4	高强		31	372	10.0	19.0
5	漆力子		1	0	0.0	0.0