适用于TERS系统的金修饰钨丝探针制备和研究

• 作者: 都伯林 高思田 黄鹭 施玉书 曲兴华
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 钨探针 针尖增强拉曼光谱 纳米颗粒修饰
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 页码范围: 1456-1460
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2020.12.02

摘要

提出了一种适用于针尖增强拉曼光谱(TERS)系统的金修饰钨丝探针,研究了其制备方法.有限元仿真设计了针尖的形状为内弧形针尖,并进行二氧化硅粘结层和金颗粒外层双镀膜结构纳米修饰;通过调节实验室自主研制的电化学腐蚀探针装置的溶液浓度、电机位移和浸入深度制备符合形状要求的钨丝针尖;在此基础上,通过电感耦合等离子体化学气相沉积技术(ICP-CVD)进行二氧化硅涂层镀制,电子束加热物理气象沉积技术(EB-PVD)进行金涂层镀制.最终完成该探针制备,双层镀膜后针尖曲率半径达30～80 nm,可用于TERS研究.