飞秒激光双光子聚合方法加工图案化微透镜及其成像测试

• 作者: 苏亚辉 秦天天 许兵 吴东
• 来源期刊: 光学精密工程
• 关键词: 激光加工 飞秒激光 双光子聚合 微透镜 光刻胶
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械|Micro/Nano Technology and Fine Mechanics
• 页码范围: 2629-2635
• 页数: 7页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/OPE.20202812.2629

摘要

为改善以往图案化透镜加工工艺复杂、制造技术昂贵、图案设计方面有限制等缺点,本文将飞秒激光双光子聚合加工技术应用于图案化微透镜的快速、高精度加工.通过球面波因子的变形设计了不同图案的微透镜,利用飞秒激光双光子聚合加工技术在光刻胶样品中加工出图案化的微透镜,然后将光刻胶样品置于显影液中去除未聚合部分,得到图案化微透镜,最后对图案化微透镜进行成像测试和光强均一化分析.将LED光源分别置于不同图案微透镜的下方,光线透过图案化微透镜成功聚焦出光强一致的焦点图案.实验结果表明,使用飞秒激光双光子聚合加工可以实现灵活可控的3D图案化微透镜结构的加工,采用加工功率为7 mW,曝光时间为2 ms,扫描xy步距为0.5 pm,z步距为0.8～1.5 μm,不仅保证了微透镜结构表面光滑,而且实现了微透镜的快速加工.该技术在加工光学超材料、光学微器件、集成光学器件等方面具有广阔的应用前景.