强光光学元件加工技术发展

• 作者: 戴一帆 田野 石峰 钟曜宇
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 光学元件 辐照损伤 抛光 溅射清洗
• 年，卷（期）: 2020,（23）
• 所属期刊栏目: 《中国机械工程》创刊30 周年纪念专辑Ⅲ
• 页码范围: 2788-2797
• 页数: 10页
• 分类号: TH161
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2020.23.003

摘要

面向强光光学元件的低损伤制造,概述了关联激光损伤性能的损伤前驱体检测表征方法,提出纳米尺度污染与化学结构缺陷等损伤前驱体是低损伤加工过程需要关注的焦点;结合光学元件加工方法的发展进程,探讨了基于化学辅助磁流变抛光和离子束溅射清洗技术的纳米损伤前驱体的抑制方法,以有效减少纳米级污染和化学结构缺陷;提出强光光学元件制造面临的三个挑战,为实现强光光学元件清洁制造提供参考.