力场辅助电喷射打印的仿真研究

• 作者: 李凯 王大志 王曦冉 贾皓然
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 力场辅助 电喷印 COMSOL仿真 三维微结构
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 36-38,74
• 页数: 4页
• 分类号: O441.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2020.10.009

摘要

微纳三维功能结构的制备对于高性能MEMS器件的研究具有重要意义.利用COMSOL仿真分析了力场辅助电喷射打印三维结构的过程,采用理论分析与数值仿真的方法,研究了力场辅助成形机理,分析了不同电场工艺参数对微结构成型的影响.通过改变电压、间距、电极尺寸等参数,可以对结构成型产生影响.结果表明,该仿真模型为这种三维打印新方法提供了理论依据,对于实现微米尺度三维结构的打印制造具有重要意义.