薄膜压电材料压电系数测试方法研究进展

• 作者: 任仲豪 周慎杰
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 压电薄膜 压电系数 高通量测试
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TN384|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2020)10-0001-04

摘要

基于国内外研究成果,对薄膜压电系数测试方法进行了分类介绍,如基于正压电效应的垂直压力加载法、气动加载法、悬臂梁法和基于逆压电效应的激光干涉法、显微镜法,X射线衍射法,还有采用间接测量的体声波和表面声波法、复合谐振法等.基于压电系数测试研究现状,汇报了测试方法的最新研究进展.随着高通量实验的快速发展,高通量测试方法已经逐渐成为材料测试的发展方向.对于压电薄膜压电系数的高通量测量,悬臂梁法以及X射线衍射法有望实现多个试样并行测试,显著提高实验效率,可以为材料模拟计算提供数据支持,同时对模拟计算的结果提供实验验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周慎杰		70	753	16.0	23.0
2	任仲豪		1	0	0.0	0.0