MEMS陀螺在片自动测试系统开发

• 作者: 付兴中 孙天玲 杨志 胥超 赵阳
• 来源期刊: 数字技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械陀螺 在片测试系统 数字采集卡
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 数控技术
• 页码范围: 1-2
• 页数: 2页
• 分类号: TP274.2
• 字数: 1380字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19695/j.cnki.cn12-1369.2020.04.01

摘要

为了快速评估出微机械陀螺的振动性能参数,结合ASIC探针卡,NI数据采集卡,半自动探针台和软件实现了圆片级自动测试,判断出陀螺是否能正常振荡.实验结果表明,该圆片级在片自动测试系统能准确的测量出芯片的振动性能,快速准确的反映出工艺能力,且实现圆片级挑选出不同等级性能的陀螺芯片,对陀螺的设计和生产加工具有重要的促进作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	34	3.0	5.0
2	赵阳	中国电子科技集团公司第十三研究所	15	18	1.0	4.0
3	付兴中	中国电子科技集团公司第十三研究所	7	10	2.0	3.0
4	孙天玲	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	0	0.0	0.0
5	胥超	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	30	4.0	5.0