FR-4覆铜板飞秒激光微孔加工工艺研究

• 作者: 郭敏超 王明娣 张胜江 林瑶 王欣玥 尹梓航 王贤宝
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 激光技术 飞秒激光 FR-4覆铜板 打孔 微孔质量
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 激光制造|Laser Manufacturing
• 页码范围: 127-135
• 页数: 9页
• 分类号: TN249|V261.8
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.1202008

摘要

针对FR-4覆铜板高精度微孔成形中传统机械打孔流程繁琐、精密化程度低等问题,采用飞秒激光对覆铜板进行单因素试验和正交试验,以入口直径、出口直径和锥度作为评判指标,探讨工艺参数对微孔质量的影响规律.结果表明,对微孔质量影响最大的因素为单脉冲能量,影响最小的因素为重复频率,最优工艺参数组合为:单脉冲能量29μJ,重复频率92 kHz,脉冲个数2112,离焦量0.01 mm.采用优化的工艺参数组后,可以对FR-4覆铜板进行高质量和高精度的打孔,实现快速、高效地制作印刷电路板.