制造误差对大尺度超振荡平面透镜聚焦性能的影响

• 作者: 何韬 刘涛 刘康 李国卿 王佳怡 田博 杨树明
• 来源期刊: 光学学报
• 关键词: 衍射 超振荡平面透镜 振幅型透镜 相位型透镜 制造误差 超分辨
• 年，卷（期）: 2020,（20）
• 所属期刊栏目: 衍射与光栅|Diffraction and Gratings
• 页码范围: 41-50
• 页数: 10页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.2005001

摘要

针对大尺度超振荡平面透镜(SOL)的实际应用,基于严格的矢量角谱理论定量研究了多种典型制造误差对大尺度SOL聚焦性能的影响规律.理论计算结果表明:横向环带制造误差对振幅型SOL(金属膜)和相位型SOL(介质层)聚焦性能的影响规律基本一致,环带中心位置偏差主要影响SOL的聚焦焦距,环带宽度偏差主要影响SOL的聚焦光斑分布;±150 nm范围内的位置偏差和宽度偏差是大尺度SOL各环带的最大制造允许公差;对于相位型SOL,纵向刻蚀深度偏差主要影响聚焦光斑的强度,7相位差对应的聚焦光斑强度最大;为使相位型SOL聚焦光斑保持较高强度,应使介质层刻蚀深度对应的相位调制量保持在(0.8～1.2)π的范围内.