基于显微三维流场构建的纳升尺度流量测量新方法研究

• 作者: 徐明 王昊利 韩巍
• 来源期刊: 中国科技成果
• 年，卷（期）: 2020,（17）
• 所属期刊栏目: 创新进展
• 页码范围: 18-19
• 页数: 2页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3772/j.issn.1009-5659.2020.17.006

摘要

纳升尺度(1 ～ 103,nL/s)是当前微流量测量的极限尺度.发展纳升尺度流量测量技术对于研究微纳流体器件的动量、能量及质量传递规律、实现传递过程精确分析具有重要科学意义.近 20 年来,在生物、医学、化学、材料以及国计民生等诸多领域器件的微型化、测量及控制精细化要求的大背景下,面向纳升尺度的流量检测已成为流量计量领域的前沿方向和亟待突破的难点技术.随着微纳加工技术的发展,基于 MEMS 技术的微流量传感器件研究取得了较大进展,成为广泛使用的微流量测量方法.