基于Fabry-Perot激光谐振腔的量子真空计量技术研究

• 作者: 贾文杰 习振华 范栋 董猛 吴成耀 成永军
• 来源期刊: 光学学报
• 关键词: 测量 真空计量 量子化 Fabry-Perot谐振腔 激光锁频
• 年，卷（期）: 2020,（22）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量|Instrumentation,Measurement and Metrology
• 页码范围: 143-150
• 页数: 8页
• 分类号: TB935
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.2212005

摘要

研发了基于Fabry-Perot激光谐振腔的量子真空计量装置,利用拍频和PDH(Pound Drever Hall)激光锁频技术,精确测量了充气前后腔内谐振激光的频率变化.在温度为299.1485 K,真空度为102?105 Pa的条件下,对干燥Ar折射率进行了测量;结合电容薄膜真空计的测量结果,得到折射率与真空度之间的相关系数为2.50835 ×10-9,并对比分析了反演真空度与测量结果之间的差异,最后评定了激光频率不确定度及折射率和真空度测量不确定度.结果显示,激光频率不确定度为5×10-12,折射率测量不确定度为1.64×10-8,真空度测量不确定度为2.5×10-4.所研制的基于Fabry-Perot激光谐振腔的量子真空测量装置初步实现了量子化真空测量,对我国量子真空计量技术的研究提供了参考.