使用位置敏感探测器的精密倾斜平台及倾斜角度控制方法

• 作者: 冀聪 王子轩 杨钢 王晶 邬黎明 王河林 吴彬 程冰 陈春霖 孙格雯 常少华 张宁 王肖隆 林强
• 来源期刊: 光学学报
• 关键词: 测量 倾斜平台 位置敏感探测元件 比例积分控制
• 年，卷（期）: 2020,（19）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量|Instrumentation, Measurement and Metrology
• 页码范围: 101-106
• 页数: 6页
• 分类号: O436.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.1912001

摘要

设计了一种压电陶瓷驱动的精密倾斜平台及其倾斜角度控制方法,实现了高精度倾斜控制.该控制系统主要由主控制器、位移探测模块、数模转换模块、高压驱动模块4部分组成,可实现快速精确的倾斜控制.运用了球透镜与位置敏感传感器相结合的方法测量和控制精密倾斜控制平台的倾斜角度.实验结果表明,该平台控制精度优于0.5μrad,且结构简单、易于装设,特别适用于要求倾斜角度精密控制且低成本的工程应用环境.