真空设备中的冷漏现象及其清除方法

• 作者: 徐健
• 来源期刊: 百科论坛电子杂志
• 关键词: 真空设备 设备中的冷漏现象 去除的方法
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 综合研究
• 页码范围: 1748
• 页数: 1页
• 字数: 877字
• 语种: 中文

摘要

对于在真空抽取过程当中,最困难的主要任务是仅在固定设备温度降低后设备才发生渗漏,这就是常见的在室温下发生的所谓冷渗漏异常现象.由于渗漏率小,尽管使用高灵敏度的漏洞漏隙检测器也无法以特定方式进行有效的测试.但是,当系统较长时间遭到升温和制冷的直接影响时,尤其是在用低温物理学液体冷冻后,由于所用材料的膨胀延伸,会带来各式各样的热胀冷缩效应.