关于高纯铜中低碳含量测定方法探究报告

• 作者: 刘刚 刘朝方 吕超 庞欣 杨永刚
• 来源期刊: 中国金属通报
• 学科: 工学
• 关键词: 高纯铜靶材 低碳含量 测定方法
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 管理及其他
• 页码范围: 267-268
• 页数: 2页
• 分类号: TG1159
• 字数: 3762字
• 语种: 中文

摘要

半导体技术的迅速发展,对于高纯金属的靶材有着很大的需求,其中高纯铜靶材受到了极大的关注,而高纯铜对于纯度的要求很高,因此高纯铜中杂质含量的测定很有必要,国际上对于高纯铜中碳含量的要求是0.0001％,对于如何准确测定高纯铜中的碳含量做了方法探究,比较了分别用丙酮和硝酸前处理的高纯铜的测试,选取了同批次不同位置的样本来进行测试,并对测试结果进行比较分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘刚		12	130	4.0	11.0
2	吕超		4	15	3.0	3.0
3	杨永刚		3	5	2.0	2.0
4	庞欣		2	5	1.0	2.0
5	刘朝方		1	0	0.0	0.0