宽频谱表面轮廓形貌干涉检测技术进展

• 作者: 高志山 赵雨晴 马剑秋 袁群
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 表面轮廓 空间频率 光学检测 光干涉计量
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 计量技术综述
• 页码范围: 1-8
• 页数: 8页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.12060/j.issn.1000-7202.2021.01.01

摘要

中国先进制造业发展很快.其中,光学元件制造向尺度愈来愈大(单体直径达数米)和愈来愈小(尺度在微纳米量级)极端方向发展,对非接触式光学检测技术带来新的挑战,本文以光学表面宽频谱轮廓形貌的检测技术及仪器为例,分析国内外的发展概貌与趋势,展现了中国自主研发的系列光学干涉检测仪器成果,对于解决卡脖子问题,具有科学意义.