光学自由曲面自适应干涉检测研究新进展

• 作者: 张磊 吴金灵 刘仁虎 俞本立
• 来源期刊: 中国光学
• 关键词: 自由曲面检测 自适应干涉检测法 可变形镜 空间光调制器
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 综述|Reviews
• 页码范围: 227-244
• 页数: 18页
• 分类号: TQ171.65|TN247|TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/CO.2020-0126

摘要

光学自由曲面因其表面自由度较多而难于进行检测.干涉检测法具有高精度非接触的特点,但传统干涉仪中的静态补偿器在自由曲面加工过程中未知面形不断变化的情况下,难以实现原位检测.因此,可编程控制的大动态范围自适应补偿器成为近年来自由曲面干涉检测中的研究热点.结合课题组在自由曲面自适应干涉检测领域的工作,介绍了光学自由曲面自适应干涉检测的最新研究进展,详细分析了基于可变形镜和空间光调制器的自适应干涉检测技术,介绍了针对干涉图目标的自适应控制算法,总结了两大类自适应检测方法的优点以及发展瓶颈,并对未来自由曲面的自适应检测技术进行了展望.