大矢高凸柱面的超精密车削轨迹计算方法研究

• 作者: 雷茸粮 李云 林妩媚 张帅 青建宏 唐林峰
• 来源期刊: 光电工程
• 关键词: 大矢高阵列微结构 凸柱面 超精密车削 半径补偿
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 科研论文|Article
• 页码范围: 49-55
• 页数: 7页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.12086/oee.2021.200192

摘要

阵列微结构光学元件广泛用于各种光束匀化场合,而常规的加工方法难以满足大矢高凸柱面阵列的精度要求.本文采用超精密车削成型法,分析了影响金刚石车削的主要因素,设计了顺序搜索法和二分搜索法寻找车削轨迹,并对比了两种方法的优缺点,结合Matlab软件用二分搜索法成功找到车削轨迹及数控程序,并在超精密车床上进行了车削实验,得到了表面轮廓误差在135 nm的大矢高阵列微结构.证明了二分搜索法能够准确获得车削轨迹,并且此法可同时适用于球面轮廓和非球面轮廓,具有重要的工程应用价值.