带通滤光膜陡度变形修正技术

• 作者: 张金豹 史成浡 耿浩 郭浩宇
• 来源期刊: 光电技术应用
• 关键词: 光学薄膜 宽带通滤光膜 截止 离子源
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 光电器件与材料|Opto-electronic Device and Material
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1255.2021.02.009

摘要

截止陡度变形是带通滤光膜实际制备中的工艺难题,通过对周期性膜系结构等效折射率与基片进行导纳匹配优化设计,得到了规整结构的带通滤光膜系,对膜系制备过程中工艺参数变化规律分析,得出了电子枪蒸发源蒸发特性变化引起膜系截止带误差分离是陡度变形的主要原因,在修正误差后实际制备了陡度变化小于25 nm的带通干涉截止滤光膜.