基于飞行时间质谱计的微型气体分析仪技术研究

• 作者: 韩琰 闫荣鑫 潘颖 王静涛 李征
• 来源期刊: 真空与低温
• 关键词: 深空探索 微型气体分析仪 飞行时间质谱计 生命探索
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 真空技术|Vacuum Technology
• 页码范围: 127-131
• 页数: 5页
• 分类号: TB773
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2021.02.004

摘要

介绍了自主研发的微型气体分析仪的研究进展和设计思路.该分析仪计划应用于深空探索任务,以飞行时间质谱计为核心,配置了进样系统和抽气系统,应用了场发射离子源和离子反射镜技术,具有质量小(整机小于9 kg)、功耗低(整机功耗小于20 W)、测试质量数宽(amu=1～1000)、质量分辨本领强(大于400)、响应速度快、μs级全谱扫描周期、高检测浓度灵敏度等优点,可在高真空或低真空环境工作.质谱计质量小于2.5 kg,功耗低于5 W.