基于二维材料的真空气压传感器设计与测试

• 作者: 王浩志
• 来源期刊: 安全、健康和环境
• 关键词: 真空传感 二维材料 二硫化钼 皮拉尼气压传感器 微机电系统
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 安全环保新材料
• 页码范围: 23-28
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7932.2021.01.005

摘要

设计、加工、测试了一种基于二维材料(MoS2)的小型化、微机电系统(MEMS)皮拉尼气压传感器,测试结果表明传感器有效测量范围10～104 Pa,最高灵敏度50Ω/Pa,功耗6×10-7 W/V,与仿真结果相符.该传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高等优点,在复杂环境下真空压力测量领域中具有广阔的应用前景.