旋转平行光管主镜背部柔性支撑设计与仿真分析

• 作者: 杜伟峰 张惠 高文杰 唐行菊 陆建
• 来源期刊: 光学技术
• 关键词: 光学动态靶标 平行光管 柔性支撑 面型精度
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 光学设计|Optical Design
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文

摘要

针对光学动态靶标进行光电跟踪光端机的跟踪精度的测试时,旋转的光电平行光管由于离心场的存在导致主镜面型误差过大的问题,提出了一种基于挠性梁减小旋转平行光管离心工况下主镜面型误差的方法.文章首先针对主镜支撑点径向位置最优布局进行求解,其次在Isight优化平台上对主镜背部支撑挠性梁的关键设计参数进行尺寸优化,最终利用Sigfit软件分析了离心工况下主镜面型误差.采用优化后的主镜支撑方案,反射镜在1.64g离心力作用下,主镜面型精度RMS优于0.03λ(λ=632.8nm),组件一阶固有频率为167Hz.采用4D干涉仪对平行光管的波像差进行检测,检测结果表明,平行光管光机系统的波像差RMS值优于0.067λ.经过仿真分析与检测实验证明,采用挠性支撑的旋转平行光管镜的动态刚度与面形精度满足光学动态靶标的应用要求.