圆盘多环内双梁谐振陀螺的结构设计和制备方法

• 作者: 李志伟 张卫平 谷留涛 刘朝阳 朱甲强
• 来源期刊: 导航与控制
• 关键词: 多环陀螺 微机电系统 内双梁 阳极键合 绝缘体上硅
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 材料与工艺|Materials and Processes
• 页码范围: 81-85,65
• 页数: 6页
• 分类号: V241.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2021.03.010

摘要

多环陀螺由于其对称性好、机械性能优异、能耗低、效率高等特点成为MEMS陀螺领域高性能惯性器件的代表.基于MEMS多环陀螺的发展现状,针对现有多环陀螺结构刚度较大、灵敏度较低的现状,提出了一种新型的圆盘多环内双梁孤立圆环谐振陀螺,通过内双梁的柔性降低了结构刚度,提高了谐振器的灵敏度.对多环谐振陀螺的主要结构进行了详细设计,对多环陀螺的振动模态进行了有限元分析.同时,提出了基于绝缘体上硅(Silicon on Insulator,SOI)工艺和基于阳极键合工艺的两种制备工艺,进行了工艺流程的设计.