硒化氢的制备和提纯技术

• 作者: 邓俊宝 黄万才 莫杰 胡通 冯晓青 蒲云平 史晶晶 赵艳超
• 来源期刊: 化工技术与开发
• 关键词: 硒化氢 制备 提纯
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与进展|Review and Progress
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TQ117
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-9905.2021.03.010

摘要

硒化氢是一种制备红外光感材料硒化锌的重要原料,也是用于集成电路的外延、掺杂和蚀刻等工艺的重要电子特气.本文对硒化氢的制备和提纯技术进行了综述.