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摘要:
微电子元器件及其系统越来越广泛地应用于信息、航空航天、深空探测、机械、交通、能源、生物、医疗等领域,并伴随集成电路、微纳制造、新型材料等高新科学技术的发展,迅速向微型化甚至纳米尺度、多功能、高功率、多材料应用、复杂三维结构等方向发展.微纳尺度的材料连接即"微纳连接"是微电子元器件及其系统性能,特别是严苛条件下服役可靠性的关键制造环节和核心技术.
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文献信息
篇名 前言
来源期刊 中国激光 学科
关键词
年,卷(期) 2021,(8) 所属期刊栏目 “激光高性能连接技术与装备”专题
研究方向 页码范围 封2,1-2
页数 2页 分类号
字数 语种 中文
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中国激光
月刊
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1974
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