非接触式静电放电波形分析及试验

• 作者: 赵丹 吴桂林 朱继芳 黄昀
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 关键词: 静电放电 静电感度 非接触式
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 精密测试技术
• 页码范围: 73-78
• 页数: 6页
• 分类号: TJ450.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.12060/j.issn.1000-7202.2021.03.13

摘要

静电放电(Electrostatic Discharge,ESD)作为一种常见的近场危害源,在其放电过程中可形成高电压和瞬时大电流,使得器件的安全性能大大下降,并影响半导体器件的电学特性.本文对火工品静电感度试验装置非接触放电时的等效电路模型进行分析,并根据等效电路进行仿真,研制试验装置,针对电容与电阻的不同组合进行放电试验,验证仿真结果以及电阻电容对静电放电的影响.